光明区声表面谐振器在ad中

声表面波(surfaceacousticwave，SAW)传感器是近年来发展起来的一种新型微声传感器，是一种用声表面波器件作为传感元件，将被测量的信息通过声表面波器件中声表面波的速度或频率的变化反映出来，并转换成电信号输出的传感器。声表面波传感器能够精确测量物理、化学等信息(如温度、应力、气体密度)。由于体积小，声表面波器件被誉为开创了无线、小型传感器的新纪元；同时，其与集成电路兼容性强，在模拟数字通信及传感领域获得了应用。SAW 声表面波元件的制作可分为晶圆清洗、镀金属膜、上光阻、显影、蚀刻、去光阻、切割、封装、等相关步骤。光明区声表面谐振器在ad中

声表面谐振器的主要特点是设计灵活性大、模拟/数字兼容、群延迟时间偏差和频率选择性优良（可选频率范围为10MHz～3GHz）、输入输出阻抗误差小、传输损耗小、抗电磁干扰（EMI）性能好、可靠性高、制作的器件体小量轻，其体积、重量分别是陶瓷介质滤波器的1/40和1/30左右，且能实现多种复杂的功能。SAW滤波器的特征和优点，适应了现代通信系统设备及便携式电话轻薄短小化和高频化、数字化、高性能、高可靠等方面的要求。其不足之处是所需基片材料的价格昂贵，对基片的定向、切割、研磨、抛光和制造工艺要求高。受基片结晶工艺苛刻和制造精度要求严的影响，日本富士通、三洋电器、丰田等少数几家掌握压电基片生产技术的制造商垄断了世界SAW滤波器市场。富士通公司控制了移动电话用小型射频声表面谐振器全球市场40%左右的份额，目前其年产量在1.5亿只以上，较小的产品尺寸已达到2.5mm×2mm，重22mg，集倒装式组件和谐振器型滤波器设计于一体，使滤波器性能突破性飞跃。三洋电器公司是世界的视听家电用SAW滤波器制造商之一，为保持其价格上的优势，该公司在我国深圳设有组装厂，年产5000万只。丰田公司主要生产移动通信用声表面谐振器，可提供30多种标准型产品，均适用于表面安装。从化区声表面谐振器原理为适应电子整机高频、宽带化的要求，声表面谐振器也必须提高工作频率和拓展带宽。

声表面波器件一般使用压电晶体 (例如石英晶体等 )作为媒介，然后通过外加一正电压产生声波，并通过衬底进行传播，然后转换成电信号输出。声表面波传感器中起主导作用的主要是压电效应，其设计时需要考虑多种因素：如相对尺寸、敏感性 、效率等。 一般地，无线无源声表面波传感器的信号频率范围从40MHz 到几个GHz。 图2 所示为声表面波传感器常见的结构，主要部分包括压电衬底、天线、敏感薄膜 、IDT等 。 传感器的敏感层通过改变声表面波的速度来实现频率的变化。

SAW滤波器在抑制电子信息设备高次谐波、镜像信息、发射漏泄信号以及各类寄生杂波干扰等方面起到良好的作用，可以实现任意所需精度的幅频和相频特性的滤波，这是其它滤波器难以完成的。近年来国外已将SAW滤波器片式化，重量只有0.2g；另外，由于采用了新的晶体材料和新的精细加工技术，使SAW器件上使用上限频率提高到2.5GHz～3GHz。从而促使SAW滤波器在抗EMI领域获得更多的应用。

SAW滤波器以极陡的过渡带使CATV的邻频传输得以实现，与隔频传输相比，频谱利用率提高了1 倍。电视接收机如果不采用SAW滤波器，不可能稳定可靠地工作。事实上，早期SAW滤波器的主要应用领域就是以电视机为的视听家电产品，20世纪80 年代末，由于电子信息特别是通信产业的高速发展，为SAW滤波器提供了一个广阔的市场空间，致使其产量和需求呈直线上升趋势。目前世界SAW滤波器的年产 量在6亿只以上，其中移动通信等用小型化RFSAW滤波器就达4.3亿只。 声表面波被瑞利发现，所以也被称为瑞利波。

声表面滤波器是在一块具有压电效应的材料基片上蒸发一层金属膜，然后经光刻，在两端各形成一对叉指形电极组成。当在发射换能器上加上信号电压后，就在输入叉指电极间形成一个电场使压电材料发生机械振动（即超声波）以超声波的形式向左右两边传播，向边缘一侧的能量由吸声材料所吸收。在接收端，由接收换能器将机械振动再转化为电信号，并由叉指形电极输出。

表面波滤波器是以石英、铌酸锂或钎钛酸铅等压电晶体为基片，经表面抛光后在其上蒸发一层金属膜，通过光刻工艺制成两组具有能量转换功能的交叉指型的金属电极，分别称为输入叉指换能器和输出叉指换能器。当输入叉指换能器 接上交流电压信号时，压电晶体基片的表面就产生振动，并激发出与外加信号同频率的声波，此声波主要沿着基片的表面的与叉指电极升起的方向传播，故称为声表面滤波，其中一个方向的声波被除数吸声材料吸收，别一方向的声波则传送到输出叉指换能器，被转换为电信号输出。声表面波滤波器具有工作频率高、通频带宽、选频特性好、体积小和重量轻等特点，并且可采用与集成电路相同的生产工艺，制造简单，成本低，频率特性的一致性好，因此广泛应用于 各种电子设备中。 现已制造出1.5GHzPDC用射频声表面谐振器，其插入损耗只有1.2dB。花都区声表面谐振器的作用

因为声表面波和衬底发生了强烈的耦合，所以其传播过程中的振幅和速度都会受到衬底参数的影响。光明区声表面谐振器在ad中

经过一次电声转换、SAW传播和声电转换的过程之后，传输的信号在250MHz临近频带以外的成分将会得到极大的衰减。因此，SAW协助完成了对电信号进行带通滤波的任务。

考虑到由两个换能器和一个衬底构成的器件系统具有特定的频响特性，并且该频响特性可以通过对于换能器和衬底的制备进行操控，而且该器件具有高稳定性、小体积、高选择度、高Q值等特点，所以该系统被成功地用做各种功能的滤波器。

可想而知，与芯片的制造一样，SAW滤波器的工艺和设计同等重要。因为衬底和IDT换能器的参数对于整个器件的性能有十分巨大的影响。而工艺对于器件的性能来说尤为重要。 光明区声表面谐振器在ad中

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